Микроскоп Leica DM8000 и DM12000

Ультрафиолетовый микроскоп Leica DM8000 M / DM12000 M для микроэлектроники.

На смену моделям Leica INM100, INM200, INM300 компания Leica обновила модельный ряд микроскопов для контроля и исследования полупроводниковых пластин.

Общие технические характеристики микроскопа Leica DM8000 M:

– Образцы размером до 8” / 200 мм;

– Методы контрастирования: светлое, темное поле, поляризация, Дик, UV и  OUV, наклонное освещение и макро режим;

– Возможность работы в проходящем и отраженном свете;

– Фокус ручной или моторизованный;

– Увеличение от 7х до 3000х;

– Работа в макро режиме при помощи объектива 0.7х, апертурой 0.02, рабочей дистанцией 7.2мм, диаметром 32мм.

– Инспекционный ручной стол размером 8” с ходом 202х202мм, с возможностью вращения столика для выравнивания пластин или моторизованный инспекционный стол размером 8” с ходом 202х202мм, разрешением по XY 0,01 мкм, скорость хода 240мм в секунду, воспроизводимость < 1 мкм;

– Держатели пластин на 6-8” или 8-12” с возможность установки вакуума и держателя маски;

-Освещение светодиодное, интегрированное в микроскоп, обеспечивает постоянную цветовую температуру и длительный срок службы;

-Ифракрасный свет

Общие технические характеристики микроскопа Leica DM12000 M:

– Образцы размером до 12” / 300 мм;

– Методы контрастирования: светлое, темное поле, поляризация, Дик, UV и  OUV, наклонное освещение и макро режим;

– Возможность работы в проходящем и отраженном свете;

– Фокус ручной 2х, 3х ступенчатый или моторизованный;

– Увеличение от 7х до 3000х;

– Работа в макро режиме при помощи объектива 0.7х, апертурой 0.02, рабочей дистанцией 7.2мм, диаметром 32мм.

– Инспекционный ручной стол размером 8” или 12” с ходом 302х302мм, с возможностью вращения столика для выравнивания пластин или моторизованный инспекционный стол размером 8” или 12” с ходом 302х302мм, разрешением по XY 0,01 мкм, скорость хода 240мм в секунду, воспроизводимость < 1 мкм;

– Держатели пластин на 6-8” или 8-12” с возможность установки вакуума и держателя маски;

-Освещение светодиодное, интегрированное в микроскоп, обеспечивает постоянную цветовую температуру и длительный срок службы;

-Ифракрасный свет